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如何處理真空系統(tǒng)污染

低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調(diào)、真空脫氣(鋼水處置)等懇求具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽

氣機組,這類低真空抽氣機組主泵常用往復(fù)式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環(huán)泵、羅茨泵等。運用的低真空抽氣機組

還需根據(jù)被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求,配置必要的除塵器、單調(diào)罐等部件。

水蒸氣在緊縮過程中會凝結(jié)成水滴,并與泵混合構(gòu)成懸浮液,不只會使真空度降落,也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹,破壞密封面,使泵的

極限真空度降落。為此,防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有:

(1 )選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵;

(2 )裝油分別器、離心式分別器或油水分別器,將混有水的機械泵油中止處置,處置過的油再流入泵中運用;

(3 )運用吸水性強的單調(diào)劑;


(4 )運用液氮冷阱,不只能有效地吸附水蒸氣,同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。


油擴散泵真空系統(tǒng)污染與防治

油擴散泵真空系統(tǒng)是運用最普遍的真空系統(tǒng),其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ~1.3×10-5 Pa。油擴散泵真空系統(tǒng)構(gòu)成的各類真空

裝置,長期運用后,常見的缺點是真空度抽不上去,或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內(nèi)壁的油蒸氣污染、真空工藝

過程各種污染物的污染有關(guān),防止的辦法是:

(1 )定期清洗真空室;

(2 )定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵中止清洗。

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