在多級擴散泵中，利用傘形噴嘴和噴射噴嘴及導流管組成泵的導流系統(tǒng)。
1.傘形噴嘴（擴散噴嘴）
傘形噴嘴其特點是噴嘴直徑一級比一級大,呈塔形。因為噴嘴與泵壁之間的間隙越大,氣體擴散的有效面積就越大。所以位于入口端的第一級主要從增大泵的抽速來考慮。氣體經(jīng)過一次壓縮后，壓力就增大，氣體密度較高，在較小的面積里就能通過，所以，后幾級噴嘴與泵壁的間隙就做的越來越小，這樣還可以阻止壓力越來越高的氣體穿過蒸氣流反擴散到高真空端去，使泵的極限壓力降低。
傘形噴嘴有兩個主要的幾何參數(shù)：
1）噴嘴間隙。間隙的大小影響到油蒸汽流的流量及泵的性能。
2）噴嘴張角。張角過大，從噴嘴到泵壁的距離遠了，在泵壁附近不能形成較密集的蒸氣流，氣體反擴散增強，泵抽氣性能變壞；張角太小，油分子的水平方向速度增大，容易引起油蒸氣反射到高真空端去，并使氣體分子向蒸氣流的擴散受到阻礙，也會使泵的抽氣性能變壞。一般，張角的選取范圍在50°~80°，對于不同大小和型式的泵，設計時選取的張角的數(shù)值也不同。
2.噴射噴嘴
擴散泵末級有用噴射噴嘴的，它與傘形噴嘴不同，它的形狀是先減縮后漸擴，中間有個截面積最小的喉部。這種噴嘴通常和一個擴壓器相配合，來保證泵能承受較高的出口壓力。
采用噴射噴嘴和擴壓器后，不僅可以提高泵的最大許可出口壓力，也可以提高泵在中等壓力時的抽速。故一般擴散泵常以噴嘴噴射作為最后一級，也稱噴射級。
|
