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半導(dǎo)體行業(yè)如何正確使用油封式真空泵

油封式真空泵即旋片式真空泵,一般為真空機(jī)組的前級真空泵。這種泵是在60~100℃范圍內(nèi)把各種不同的混合氣體壓縮到大氣壓并排放到排氣管中。如果泵內(nèi)危害性產(chǎn)物的壓力、濃度、溫度都比較高,這些物質(zhì)在泵及泵的附件內(nèi)積存起來這些物質(zhì)在排氣管道內(nèi)同周圍空氣相接觸等等,都會構(gòu)成潛在的危險。

半導(dǎo)體制造使用或產(chǎn)生的有害氣體,必須采取合適的測量方法,以防止著火和爆炸,保證設(shè)備的正常運(yùn)行,防止操作人員、維修人員及服務(wù)人員發(fā)生急性或慢性中毒。為了安全起見,應(yīng)配備抽力足夠大的合適真空泵和附件,并要求采用合理的操作和維護(hù)方法,配備適當(dāng)?shù)谋O(jiān)控裝置。

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